医用氧气除在纯度上有一定的要求（对深冷法要求氧纯度为99.5%）外，还要求水分含量不大于-43℃（露点温度）二氧化碳的体积分数、一氧化碳、气态酸、碱含量，臭氧及其他气态氧化剂等的含量也要符合GB8982-1998的要求。因此，一般的工业氧不符合医用氧的要求，即不能用一般的氧压机及氧气瓶来充灌医用氧。

采用膜式压缩机，是保证氧气质量的措施，采用液氧内压缩流程是生产医用氧的一种既安全、又不受污染的流程。即从主冷抽取液氧，经过冷后在柱塞式液氧泵压缩至16MPa，再在氧热交换器中回收冷量气化成高压气氧。不少氧气厂对50m3/h、150m3/h制氧机作了这种改造。主要反映在以下几方面：

1）氧热交换器是在高压下工作的，在结构上需能承受高压。此外，由于液氧的冷量大，在氧热交换器中冷却的空气量约为氧量的1.7倍。主热交换器的热负荷减小，返流低温气体复热不足，使热端温差扩大，冷损增大；

2）采用内压缩流程时，液氧泵消耗的功成为装置的附加冷损失，而高压氧气是带压离开装置，这部分节流效应制冷量没有得到利用。为了平衡冷损，要求增大膨胀机的制冷量。这时，需要提高空压机的操作压力，一般需高于4.0MPa；

如果装置需要同时生产医用氧和工业氧，则应根据医用氧的需要量，确定相应的液氧过冷器、液氧换热器和液氧泵的大小。这时，冷损增加量较少，操作压力也可降低。